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微機電系統技術入門 : 以半導體技術製作微小機械與運用
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
副題名:
以半導體技術製作微小機械與運用
作者:
藤田博之,
其他作者:
溫榮弘,
出版地:
臺北市
出版者:
全華;
出版年:
2004[民93]
版本:
初版
面頁冊數:
[245]面圖,表格 : 23公分;
標題:
電機工程 -
標題:
奈米技術 -
其他題名:
Micro eletro mechanical system
ISBN:
957-21-4631-9
微機電系統技術入門 : 以半導體技術製作微小機械與運用
藤田, 博之
微機電系統技術入門
: 以半導體技術製作微小機械與運用 / 藤田博之原著 ; 溫榮弘編譯 - 初版. - 臺北市 : 全華, 2004[民93]. - [245]面 ; 圖,表格 ; 23公分.
含參考書目及索引.
ISBN 957-21-4631-9
電機工程奈米技術
溫, 榮弘
微機電系統技術入門 : 以半導體技術製作微小機械與運用
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以半導體技術製作微小機械與運用
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英文題名: Micro eletro mechanical system
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マイクロ‧ナノマシン技術入門
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半導體技術で作る微小機械とその應用
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Micro eletro mechanical system
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電機工程
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一般圖書
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