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Plasma properties, deposition and et...
~
Alterowitz, Samuel A.
Plasma properties, deposition and etching /
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monographic component part
正題名/作者:
Plasma properties, deposition and etching /editors, J. J. Pouch and S. A. Alterovitz.
其他作者:
Pouch, John J.
出版者:
Aedermannsdorf, Switzerland :Trans Tech Publications,c1993.
面頁冊數:
x, 742 p. :ill. ;25 cm.
叢書名:
Materials science forum,
標題:
Plasma dynamics.
ISBN:
9780878496709 (pbk.)
Plasma properties, deposition and etching /
Plasma properties, deposition and etching /
editors, J. J. Pouch and S. A. Alterovitz. - Aedermannsdorf, Switzerland :Trans Tech Publications,c1993. - x, 742 p. :ill. ;25 cm. - Materials science forum,v. 140-1420255-5476 ;.
Includes bibliographical references and index.
ISBN: 9780878496709 (pbk.)Subjects--Topical Terms:
225105
Plasma dynamics.
LC Class. No.: QC718.5.D9 / P53 1993
Plasma properties, deposition and etching /
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西方語文圖書區(四樓)
館藏
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320000470387
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一般圖書
QC718.5.D9 P715 1993
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