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Microsystem design

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Senturia, Stephen D.

Microsystem design

紀錄類型:	書目-電子資源 : Monograph/item
正題名/作者:	Microsystem designStephen D. Senturia.
作者:	Senturia, Stephen D.
出版者:	Boston :Kluwer Academic Publishers,c2001.
面頁冊數:	xxvi, 689 p. :ill., digital ;24 cm.
Contained By:	Springer e-books
標題:	Microelectromechanical systemsDesign and construction.
電子資源:	http://dx.doi.org/10.1007/b117574
ISBN:	9780306476013 (electronic bk.)

Microsystem design
Senturia, Stephen D.

Microsystem design[electronic resource] /Stephen D. Senturia. - Boston :Kluwer Academic Publishers,c2001. - xxvi, 689 p. :ill., digital ;24 cm.

ISBN: 9780306476013 (electronic bk.)Subjects--Topical Terms:

206811
Microelectromechanical systems
--Design and construction.

LC Class. No.: TK7875 / .S46 2001

Dewey Class. No.: 621.381

Microsystem design
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000000046147

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EB TK7875 .S46 2001 c2001.

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http://dx.doi.org/10.1007/b117574

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