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[ subject:"積體電路" ]
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選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W...
~
葉文冠
選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W for ULSI applications
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:
Selective CVD-W for ULSI applications
作者:
葉文冠,
出版者:
出版年:
民85
面頁冊數:
19, 173面圖 : 30公分;
選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W for ULSI applications
葉, 文冠
選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用
= Selective CVD-W for ULSI applications / 葉文冠[撰], 民85. - 19, 173面 ; 圖 ; 30公分.
參考書目: 面157-158.
選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W for ULSI applications
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指導教授: 陳茂傑
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博碩士論文區(二樓)
館藏
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資料類型
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310000621501
博碩士論文區(二樓)
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學位論文
008D/0007 542204 4403 1996
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