Atomic layer depositionprinciples, c...
Kääriäinen, Tommi.

 

  • Atomic layer depositionprinciples, characteristics, and nanotechnology applications /
  • 紀錄類型: 書目-電子資源 : Monograph/item
    正題名/作者: Atomic layer depositionTommi Kääriäinen ... [et al.].
    其他題名: principles, characteristics, and nanotechnology applications /
    作者: Kääriäinen, Tommi.
    出版者: Salem, Massachusetts :Scrivener Publishing ;2013.
    面頁冊數: 1 online resource (xv, 256 p.)
    標題: Chemical vapor deposition.
    電子資源: http://onlinelibrary.wiley.com/book/10.1002/9781118747407
    ISBN: 9781118747407 (electronic bk.)
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000000115136 電子館藏 1圖書 電子書 EB TS695 A881 2013 一般使用(Normal) 在架 0
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