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脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photo...

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劉世璿

脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser
作者:	劉世璿,
其他團體作者:	國立高雄大學
出版地:	高雄市
出版者:	國立高雄大學;
出版年:	2022[民111]
面頁冊數:	ix,27葉圖，表 : 30公分;
標題:	Nd:YAG雷射
標題:	NYAG Laser
電子資源:	https://hdl.handle.net/11296/e7s6vq
附註:	111年12月1日公開
附註:	參考書目：葉26-27

脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser
劉, 世璿

脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser / 劉世璿撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2022[民111]. - ix,27葉 ; 圖，表 ; 30公分.
111年12月1日公開參考書目：葉26-27.
Nd:YAG雷射NYAG Laser

脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser
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210 $a 高雄市 $c 國立高雄大學 $d 2022[民111]
215 0 $a ix,27葉 $c 圖，表 $d 30公分
300 $a 111年12月1日公開
300 $a 參考書目：葉26-27
314 $a 指導教授：施明昌博士
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系-電子構裝整合技術產業碩士專班
510 1 $a The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser $z eng
610 0 $a Nd:YAG雷射 $a 雷射清除 $a 光阻材料
610 1 $a NYAG Laser $a Laser Trimming of the Photoresist
681 $a 008M/0019 $b 542201 7241 $v 2007年版
700 1 $a 劉 $b 世璿 $4 撰 $3 916794
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856 4 $u https://hdl.handle.net/11296/e7s6vq $z 電子資源

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館藏

2 筆 • 頁數 1 •
1

館藏流通類別

310003023713

博碩士論文區(二樓)

不外借資料

學位論文

TH 008M/0019 542201 7241 2022

一般使用(Normal)

在架

0

310003023721

博碩士論文區(二樓)

不外借資料

學位論文

TH 008M/0019 542201 7241 2022 c.2

一般使用(Normal)

在架

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2 筆 • 頁數 1 •
1

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多媒體檔案
https://hdl.handle.net/11296/e7s6vq

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