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ICP蝕刻技術應用P型奈米線電晶體的製作 = ICP Etching T...

劉書瑋

ICP蝕刻技術應用P型奈米線電晶體的製作 = ICP Etching Technology for the fabrication of P-type Nanowire Transistors

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	ICP Etching Technology for the fabrication of P-type Nanowire Transistors
作者:	劉書瑋,
其他團體作者:	國立高雄大學
出版地:	高雄市
出版者:	國立高雄大學;
出版年:	2022[民111]
面頁冊數:	vi,47葉圖 : 30公分;
標題:	奈米線
標題:	nanowire
電子資源:	https://hdl.handle.net/11296/9xgmr7
附註:	111年12月1日公開
附註:	參考書目：葉45-47

ICP蝕刻技術應用P型奈米線電晶體的製作 = ICP Etching Technology for the fabrication of P-type Nanowire Transistors
劉, 書瑋

ICP蝕刻技術應用P型奈米線電晶體的製作 = ICP Etching Technology for the fabrication of P-type Nanowire Transistors / 劉書瑋撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2022[民111]. - vi,47葉 ; 圖 ; 30公分.
111年12月1日公開參考書目：葉45-47.
奈米線nanowire

ICP蝕刻技術應用P型奈米線電晶體的製作 = ICP Etching Technology for the fabrication of P-type Nanowire Transistors
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210 $a 高雄市 $c 國立高雄大學 $d 2022[民111]
215 0 $a vi,47葉 $c 圖 $d 30公分
300 $a 111年12月1日公開
300 $a 參考書目：葉45-47
314 $a 指導教授：陳春僥博士，李耀仁博士
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系碩博士班
510 1 $a ICP Etching Technology for the fabrication of P-type Nanowire Transistors $z eng
610 # 0 $a 奈米線 $a 短通道效應 $a 感應式耦合電漿 $a 電漿蝕刻 $a 環繞式閘極
610 # 1 $a nanowire $a short channel effect $a inductively coupled plasm $a plasma etching $a Gate-All-Around
681 $a 008M/0019 $b 542201 7251 $v 2007年版
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712 0 2 $a 國立高雄大學 $b 電機工程學系碩博士班 $3 769000
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856 4 # $u https://hdl.handle.net/11296/9xgmr7 $z 電子資源