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運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Applicat...

呂秉修

運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process
作者:	呂秉修,
其他團體作者:	國立高雄大學
出版地:	高雄市
出版者:	國立高雄大學;
出版年:	2023[民112]
面頁冊數:	v,73葉圖,表 : 30公分;
標題:	布拉格光纖光柵
標題:	Fiber Bragg grating
電子資源:	https://handle.ncl.edu.tw/11296/8xp9mt
附註:	112年12月1日公開
附註:	參考書目: 葉72-73

運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process
呂, 秉修

運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process / 呂秉修撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2023[民112]. - v,73葉 ; 圖,表 ; 30公分.
112年12月1日公開參考書目: 葉72-73.
布拉格光纖光柵Fiber Bragg grating

運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process
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314 $a 指導教授: 施明昌教授
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系--半導體製造智能化技術產業碩士專班
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610 # 0 $a 布拉格光纖光柵 $a 銅離子濃度
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