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應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Applicat...

劉育綸

應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process
作者:	劉育綸,
其他團體作者:	國立高雄大學
出版地:	高雄市
出版者:	國立高雄大學;
出版年:	2023[民112]
面頁冊數:	xiii,60葉圖,表 : 30公分;
標題:	布拉格光纖光柵
電子資源:	https://handle.ncl.edu.tw/11296/ka7u8n
附註:	112年12月1日公開
附註:	參考書目: 葉60

應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process
劉, 育綸

應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process / 劉育綸撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2023[民112]. - xiii,60葉 ; 圖,表 ; 30公分.
112年12月1日公開參考書目: 葉60.
布拉格光纖光柵

應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process
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300 $a 參考書目: 葉60
314 $a 指導教授: 施明昌教授
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