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[ subject:"Sputtering (Physics)" ]
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Sputtering materials for VLSI and th...
~
Sarkar, Jaydeep, ((Materials scientist))
Sputtering materials for VLSI and thin film devices
紀錄類型:
書目-電子資源 : Monograph/item
正題名/作者:
Sputtering materials for VLSI and thin film devicesby Jaydeep Sarkar.
作者:
Sarkar, Jaydeep,
出版者:
Norwich, N.Y. :William Andrew ;2011.
面頁冊數:
x, 603 p. :ill. ;25 cm.
標題:
MicroelectronicsMaterials.
電子資源:
http://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937
ISBN:
9780815515937 (electronic bk.)
Sputtering materials for VLSI and thin film devices
Sarkar, Jaydeep,(Materials scientist)
Sputtering materials for VLSI and thin film devices
[electronic resource] /by Jaydeep Sarkar. - Norwich, N.Y. :William Andrew ;2011. - x, 603 p. :ill. ;25 cm.
Includes bibliographical references and index.
ISBN: 9780815515937 (electronic bk.)Subjects--Topical Terms:
184283
Microelectronics
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LC Class. No.: TK7874 / .S273 2014
Dewey Class. No.: 621.381
Sputtering materials for VLSI and thin film devices
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000000107545
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1圖書
電子書
EB TK7874 S273 2011
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http://www.sciencedirect.com/science/book/9780815515937
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