紀錄類型: |
書目-語言資料,印刷品
: Monograph/item
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正題名/作者: |
Foundations of MEMS /Chang Liu. |
作者: |
Liu, Chang, |
出版者: |
Upper Saddle River, NJ :Pearson/Prentice Hall,c2006. |
面頁冊數: |
xxii, 530 p. :ill. ;24 cm. |
標題: |
Microelectromechanical systems. |
ISBN: |
013199204X (pbk. Pearson international edition) : |