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[ subject:"Photoresists"]
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.
Introduction to microlithography /
~
Bowden, M. J., (1943-)
Introduction to microlithography /
by:
Bowden, M. J., (1943-); Thompson, L. F., (1944-); Willson, C. G. (1939-)
書目-語言資料,印刷品
: Monograph/item
語文別:
英文
出版者:
American Chemical Society,
出版地:
Washington, DC :
出版年:
1994
ISBN:
0841228485; 9780841228481
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:
1 本館藏
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