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Modelling of microfabrication systems /
~
Dai, Weizhong.
Modelling of microfabrication systems /
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
Modelling of microfabrication systems /Raja Nassar, Weizhong Dai, [eds.].
其他作者:
Nassar, Raja.
出版者:
Berlin :Springer,c2003.
面頁冊數:
x, 269 p. :ill. ;24 cm.
叢書名:
Microtechnology and MEMS,
標題:
MicroelectronicsMathematical models.
ISBN:
3540002529 :
Modelling of microfabrication systems /
Modelling of microfabrication systems /
Raja Nassar, Weizhong Dai, [eds.]. - Berlin :Springer,c2003. - x, 269 p. :ill. ;24 cm. - Microtechnology and MEMS,1615-8326.
Includes bibliographical references (p. [249]-261) and index.
ISBN: 3540002529 :NT$3104
LCCN: 2003050541Subjects--Topical Terms:
219695
Microelectronics
--Mathematical models.
LC Class. No.: TK7836 / .N35 2003
Dewey Class. No.: 621.381
Modelling of microfabrication systems /
LDR
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西方語文圖書區(四樓)
館藏
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320000293193
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1圖書
一般圖書
TK7836 M689 2003
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