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Enabling technology for MEMS and nan...
~
Baltes, H.
Enabling technology for MEMS and nanodevices /
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
Enabling technology for MEMS and nanodevices /edited by H. Baltes ... [et al.].
其他作者:
Baltes, H.
出版者:
Weinheim, Germany :Wiley-VCH,c2004.
面頁冊數:
xii, 427 p. :ill. ;25 cm.
叢書名:
Advanced micro & nanosystems ;
標題:
Microelectromechanical systems.
ISBN:
352730746X :
Enabling technology for MEMS and nanodevices /
Enabling technology for MEMS and nanodevices /
edited by H. Baltes ... [et al.]. - Weinheim, Germany :Wiley-VCH,c2004. - xii, 427 p. :ill. ;25 cm. - Advanced micro & nanosystems ;v. 1.
Includes bibliographical references and index.
ISBN: 352730746X :NT7771Subjects--Topical Terms:
189825
Microelectromechanical systems.
LC Class. No.: TK7875 / .E53 2004
Dewey Class. No.: 620.5
Enabling technology for MEMS and nanodevices /
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全部
西方語文圖書區(四樓)
館藏
1 筆 • 頁數 1 •
1
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320000175341
西方語文圖書區(四樓)
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一般圖書
TK7875 E56 2004
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