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Dry etching for VLSI /
~
Baggerman, J. A. G.
Dry etching for VLSI /
紀錄類型:
書目-語言資料,印刷品 : Monograph/item
正題名/作者:
Dry etching for VLSI /A. J. van Roosmalen, J. A. G. Baggerman, S. J. H. Brader.
作者:
Roosmalen, A. J. van.
其他作者:
Brader, S. J. H.
出版者:
New York :Plenum Press,c1991.
面頁冊數:
xvii, 237 p. :ill. ;27 cm.
叢書名:
Updates in applied physics and electrical technology
標題:
SemiconductorsEtching.
ISBN:
9780306438356 (hbk.)
Dry etching for VLSI /
Roosmalen, A. J. van.
Dry etching for VLSI /
A. J. van Roosmalen, J. A. G. Baggerman, S. J. H. Brader. - New York :Plenum Press,c1991. - xvii, 237 p. :ill. ;27 cm. - Updates in applied physics and electrical technology.
Includes bibliographical references (p. 157-175) and index.
ISBN: 9780306438356 (hbk.)
LCCN: 91007385 Subjects--Topical Terms:
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Semiconductors
--Etching.
LC Class. No.: TK7871.85 / .R58 1991
Dewey Class. No.: 621.381/52
Dry etching for VLSI /
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西方語文圖書區(四樓)
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320000470312
西方語文圖書區(四樓)
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一般圖書
TK7871.85 R781 1991
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