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選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W...

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葉文冠

選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W for ULSI applications

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Selective CVD-W for ULSI applications
Author:	葉文冠,
Published:
Year of Publication:	民85
Description:	19, 173面圖 : 30公分;

選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W for ULSI applications
葉, 文冠

選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W for ULSI applications / 葉文冠[撰], 民85. - 19, 173面 ; 圖 ; 30公分.
參考書目: 面157-158.

選擇性鎢沉積在極大型積體電路上之應用 = Selective CVD-W for ULSI applications
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210 $d 民85
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314 $a 指導教授: 陳茂傑
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328 $a 博士論文--國立交通大學電子研究所
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310000621501

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學位論文

008D/0007 542204 4403 1996

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