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以超臨界流體技術開發三五族磊晶薄膜之剝離技術 = Development...

國立高雄大學電機工程學系碩士班

以超臨界流體技術開發三五族磊晶薄膜之剝離技術 = Development of III-V Epitaxial Lift-off Processes by Supercritical Fluids Technology

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Development of III-V Epitaxial Lift-off Processes by Supercritical Fluids Technology
Author:	郭衡,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立高雄大學
Place of Publication:	高雄市
Published:	撰者;
Year of Publication:	2016[民105]
Description:	120面圖，表格 : 30公分;
Subject:	磊晶層剝離技術
Subject:	Epitaxial Lift-Off
Online resource:	http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/57796477585115429284
Notes:	105年10月25日公開
Notes:	參考書目: 面99-102

以超臨界流體技術開發三五族磊晶薄膜之剝離技術 = Development of III-V Epitaxial Lift-off Processes by Supercritical Fluids Technology
郭, 衡

以超臨界流體技術開發三五族磊晶薄膜之剝離技術 = Development of III-V Epitaxial Lift-off Processes by Supercritical Fluids Technology / 郭衡撰 - 高雄市 : 撰者, 2016[民105]. - 120面 ; 圖，表格 ; 30公分.
105年10月25日公開參考書目: 面99-102.
磊晶層剝離技術Epitaxial Lift-Off

以超臨界流體技術開發三五族磊晶薄膜之剝離技術 = Development of III-V Epitaxial Lift-off Processes by Supercritical Fluids Technology
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300 $a 參考書目: 面99-102
314 $a 指導教授: 馮瑞陽博士
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系碩士班
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610 # 1 $a Epitaxial Lift-Off $a Supercritical Fluids Etch $a Hydrofluoric Acid $a Hydrogen fluoride-pyridine $a GaAs $a AlAs
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