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狹縫式塗佈機於面板級封裝微影製程應用 = The Application...

國立高雄大學電機工程學系--電子構裝整合技術產業碩士專班

狹縫式塗佈機於面板級封裝微影製程應用 = The Application of Slit Coating Technology in Panel Level Package

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	The Application of Slit Coating Technology in Panel Level Package
Author:	陳琮瑋,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立高雄大學
Place of Publication:	高雄市
Published:	國立高雄大學;
Year of Publication:	2021[民110]
Description:	vii,39葉圖，表 : 30公分;
Subject:	光阻
Subject:	photoresist
Online resource:	https://hdl.handle.net/11296/t4ze29
Notes:	110年12月1日公開
Notes:	參考書目：葉38-39

狹縫式塗佈機於面板級封裝微影製程應用 = The Application of Slit Coating Technology in Panel Level Package
陳, 琮瑋

狹縫式塗佈機於面板級封裝微影製程應用 = The Application of Slit Coating Technology in Panel Level Package / 陳琮瑋撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2021[民110]. - vii,39葉 ; 圖，表 ; 30公分.
110年12月1日公開參考書目：葉38-39.
光阻photoresist

狹縫式塗佈機於面板級封裝微影製程應用 = The Application of Slit Coating Technology in Panel Level Package
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010 0 $b 精裝
010 0 $b 平裝
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200 1 $a 狹縫式塗佈機於面板級封裝微影製程應用 $d The Application of Slit Coating Technology in Panel Level Package $z eng $f 陳琮瑋撰
210 $a 高雄市 $c 國立高雄大學 $d 2021[民110]
215 0 $a vii,39葉 $c 圖，表 $d 30公分
300 $a 110年12月1日公開
300 $a 參考書目：葉38-39
314 $a 指導教授：施明昌博士
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系-電子構裝整合技術產業碩士專班
510 1 $a The Application of Slit Coating Technology in Panel Level Package $z eng
610 # 0 $a 光阻 $a 光阻塗佈 $a 面板 $a 狹縫式 $a 旋轉式 $a 封裝
610 # 1 $a photoresist $a resist coating $a panel $a slit $a spin $a package
681 $a 008M/0019 $b 542201 7511 $v 2007年版
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