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脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photo...

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劉世璿

脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser
Author:	劉世璿,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立高雄大學
Place of Publication:	高雄市
Published:	國立高雄大學;
Year of Publication:	2022[民111]
Description:	ix,27葉圖，表 : 30公分;
Subject:	Nd:YAG雷射
Subject:	NYAG Laser
Online resource:	https://hdl.handle.net/11296/e7s6vq
Notes:	111年12月1日公開
Notes:	參考書目：葉26-27

脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser
劉, 世璿

脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser / 劉世璿撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2022[民111]. - ix,27葉 ; 圖，表 ; 30公分.
111年12月1日公開參考書目：葉26-27.
Nd:YAG雷射NYAG Laser

脈衝雷射光阻清除之研究 = The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser
LDR:01025pam0a2200265 450 001 617305
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010 0 $b 精裝
010 0 $b 平裝
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200 1 $a 脈衝雷射光阻清除之研究 $d The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser $z eng $f 劉世璿撰
210 $a 高雄市 $c 國立高雄大學 $d 2022[民111]
215 0 $a ix,27葉 $c 圖，表 $d 30公分
300 $a 111年12月1日公開
300 $a 參考書目：葉26-27
314 $a 指導教授：施明昌博士
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系-電子構裝整合技術產業碩士專班
510 1 $a The Study of the Photoresist Cleaning by Pulse Laser $z eng
610 0 $a Nd:YAG雷射 $a 雷射清除 $a 光阻材料
610 1 $a NYAG Laser $a Laser Trimming of the Photoresist
681 $a 008M/0019 $b 542201 7241 $v 2007年版
700 1 $a 劉 $b 世璿 $4 撰 $3 916794
712 0 2 $a 國立高雄大學 $b 電機工程學系--電子構裝整合技術產業碩士專班 $3 800861
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856 4 $u https://hdl.handle.net/11296/e7s6vq $z 電子資源

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310003023713

博碩士論文區(二樓)

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學位論文

TH 008M/0019 542201 7241 2022

一般使用(Normal)

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310003023721

博碩士論文區(二樓)

不外借資料

學位論文

TH 008M/0019 542201 7241 2022 c.2

一般使用(Normal)

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https://hdl.handle.net/11296/e7s6vq

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