• Advanced mems/nems fabrication and sensors
  • 紀錄類型: 書目-電子資源 : Monograph/item
    正題名/作者: Advanced mems/nems fabrication and sensorsedited by Zhuoqing Yang.
    其他作者: Yang, Zhuoqing.
    出版者: Cham :Springer International Publishing :2022.
    面頁冊數: vi, 312 p. :ill., digital ;24 cm.
    Contained By: Springer Nature eBook
    標題: Microelectromechanical systems.
    電子資源: https://doi.org/10.1007/978-3-030-79749-2
    ISBN: 9783030797492$q(electronic bk.)
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