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運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Applicat...

呂秉修

運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process
Author:	呂秉修,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立高雄大學
Place of Publication:	高雄市
Published:	國立高雄大學;
Year of Publication:	2023[民112]
Description:	v,73葉圖,表 : 30公分;
Subject:	布拉格光纖光柵
Subject:	Fiber Bragg grating
Online resource:	https://handle.ncl.edu.tw/11296/8xp9mt
Notes:	112年12月1日公開
Notes:	參考書目: 葉72-73

運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process
呂, 秉修

運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process / 呂秉修撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2023[民112]. - v,73葉 ; 圖,表 ; 30公分.
112年12月1日公開參考書目: 葉72-73.
布拉格光纖光柵Fiber Bragg grating

運用光纖光柵感測與銅製程溶液濃度之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Measurement of Copper Content Solution in Electro Plating Process
LDR:01236pam0a2200277 450 001 637213
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010 0 $b 平裝
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300 $a 參考書目: 葉72-73
314 $a 指導教授: 施明昌教授
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系--半導體製造智能化技術產業碩士專班
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610 # 0 $a 布拉格光纖光柵 $a 銅離子濃度
610 # 1 $a Fiber Bragg grating $a copper ion concentration analysis
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