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電極材料對薄膜體聲波共振器的特性研究 = Study on the Ef...

國立高雄大學應用物理學系碩士班

電極材料對薄膜體聲波共振器的特性研究 = Study on the Effect of Electrode Materials on Thin Film Bulk Acoustic Resonators

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Study on the Effect of Electrode Materials on Thin Film Bulk Acoustic Resonators
Author:	陳偊哲,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立高雄大學
Place of Publication:	高雄市
Published:	國立高雄大學;
Year of Publication:	2025[民114]
Description:	50葉圖,表 : 30公分;
Subject:	氮化鋁
Subject:	Aluminum Nitride (AlN)
Online resource:	https://handle.ncl.edu.tw/11296/nz7jj7
Notes:	114年12月10日公開
Notes:	參考書目: 葉48-50

電極材料對薄膜體聲波共振器的特性研究 = Study on the Effect of Electrode Materials on Thin Film Bulk Acoustic Resonators
陳, 偊哲

電極材料對薄膜體聲波共振器的特性研究 = Study on the Effect of Electrode Materials on Thin Film Bulk Acoustic Resonators / 陳偊哲撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2025[民114]. - 50葉 ; 圖,表 ; 30公分.
114年12月10日公開參考書目: 葉48-50.
氮化鋁Aluminum Nitride (AlN)

電極材料對薄膜體聲波共振器的特性研究 = Study on the Effect of Electrode Materials on Thin Film Bulk Acoustic Resonators
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300 $a 參考書目: 葉48-50
314 $a 指導教授: 孫士傑博士
328 $a 碩士論文--國立高雄大學應用物理學系碩士班
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610 0 $a 氮化鋁 $a 機電耦合係數 $a 薄膜體聲波共振器 $a 聲波濾波器
610 1 $a Aluminum Nitride (AlN) $a Piezoelectric Coupling Coefficient $a Thin-Film Bulk Acoustic Wave Resonator (FBAR) $a Acoustic Wave Filter
681 $a 008M/0019 $b 423203 7525 $v 2007年版
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