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半導體潔淨技術

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小川洋輝

半導體潔淨技術

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Author:	小川洋輝,
Secondary Intellectual Responsibility:	崛池靖浩,
Secondary Intellectual Responsibility:	顏誠廷,
Place of Publication:	臺北縣
Published:	普林斯頓出版; 新科技總經銷;
Year of Publication:	2003[民92]
Edition:	初版
Description:	[8],271面圖,表,照片 : 23公分;
Subject:	半導體 - 技術 -
Notes:	含參考書目
Notes:	含索引
ISBN:	986-7688-10-4

半導體潔淨技術
小川, 洋輝

半導體潔淨技術 / 小川洋輝,崛池靖浩著 ; 顏誠廷譯 - 初版. - 臺北縣 : 普林斯頓出版, 2003[民92]. - [8],271面 ; 圖,表,照片 ; 23公分.
含參考書目含索引.
ISBN 986-7688-10-4
半導體 -- 技術

崛池, 靖浩

半導體潔淨技術
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310000994171

東方語文圖書區(五樓)

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一般圖書

448.65 9239 2003

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