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以超流體技術發展奈米矽薄膜掀離及其維持轉移之技術 = Developme...

國立高雄大學電機工程學系碩士班

以超流體技術發展奈米矽薄膜掀離及其維持轉移之技術 = Development of silicon nanomembrane lift-off and transfer-maintain processes by supercritical fluid technology

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	Development of silicon nanomembrane lift-off and transfer-maintain processes by supercritical fluid technology
Author:	廖泰鈞,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立高雄大學
Place of Publication:	高雄市
Published:	撰者;
Year of Publication:	2016[民105]
Description:	111面圖，表格 : 30公分;
Subject:	絕緣層上覆矽
Subject:	SOI
Online resource:	http://handle.ncl.edu.tw/11296/ndltd/67911301061625357028
Notes:	105年10月25日公開
Notes:	參考書目: 面93-96

以超流體技術發展奈米矽薄膜掀離及其維持轉移之技術 = Development of silicon nanomembrane lift-off and transfer-maintain processes by supercritical fluid technology
廖, 泰鈞

以超流體技術發展奈米矽薄膜掀離及其維持轉移之技術 = Development of silicon nanomembrane lift-off and transfer-maintain processes by supercritical fluid technology / 廖泰鈞撰 - 高雄市 : 撰者, 2016[民105]. - 111面 ; 圖，表格 ; 30公分.
105年10月25日公開參考書目: 面93-96.
絕緣層上覆矽SOI

以超流體技術發展奈米矽薄膜掀離及其維持轉移之技術 = Development of silicon nanomembrane lift-off and transfer-maintain processes by supercritical fluid technology
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010 0 $b 精裝
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200 1 $a 以超流體技術發展奈米矽薄膜掀離及其維持轉移之技術 $d Development of silicon nanomembrane lift-off and transfer-maintain processes by supercritical fluid technology $z eng $f 廖泰鈞撰
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300 $a 參考書目: 面93-96
314 $a 指導教授: 馮瑞陽博士
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系碩士班
510 1 $a Development of silicon nanomembrane lift-off and transfer-maintain processes by supercritical fluid technology $z eng
610 # 0 $a 絕緣層上覆矽 $a 奈米矽薄膜 $a 磊晶層剝離技術 $a 超臨界流體 $a 氫氟酸
610 # 1 $a SOI $a Si nanomembrane $a Epitaxial Lift-off Technology $a Supercritical Fluid $a Hydrofluoric acid
681 $a 008M/0019 $b 542201 0058 $v 2007年版
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