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應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Applicat...

劉育綸

應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process

Record Type:	Language materials, printed : monographic
Paralel Title:	The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process
Author:	劉育綸,
Secondary Intellectual Responsibility:	國立高雄大學
Place of Publication:	高雄市
Published:	國立高雄大學;
Year of Publication:	2023[民112]
Description:	xiii,60葉圖,表 : 30公分;
Subject:	布拉格光纖光柵
Online resource:	https://handle.ncl.edu.tw/11296/ka7u8n
Notes:	112年12月1日公開
Notes:	參考書目: 葉60

應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process
劉, 育綸

應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process / 劉育綸撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2023[民112]. - xiii,60葉 ; 圖,表 ; 30公分.
112年12月1日公開參考書目: 葉60.
布拉格光纖光柵

應用光纖光柵感測於顯影製程溶膜量之分析研究 = The Application of Fiber Bragg Grating Sensing for the Analysis of Fused Film Quantity in Photolithography Developing Process
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300 $a 參考書目: 葉60
314 $a 指導教授: 施明昌教授
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系--半導體製造智能化技術產業碩士專班
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610 # 0 $a 布拉格光纖光柵 $a 溶膜量監測
681 $a 008M/0019 $b 542201 7202.1 $v 2007年版
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