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空間濾波元件製作及光學檢測 = Fabrication of an Op...

國立高雄大學電機工程學系--半導體製造智能化技術產業碩士專班

空間濾波元件製作及光學檢測 = Fabrication of an Optical Spatial Filter and its Optical Characterization

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Fabrication of an Optical Spatial Filter and its Optical Characterization
作者:	羅雯文,
其他團體作者:	國立高雄大學
出版地:	高雄市
出版者:	國立高雄大學;
出版年:	2025[民114]
面頁冊數:	viii,35葉圖 : 30公分;
標題:	空間濾波元件
標題:	Spatial filtering
電子資源:	https://handle.ncl.edu.tw/11296/67t7k3
附註:	114年4月15日公開
附註:	參考書目: 葉34-35

空間濾波元件製作及光學檢測 = Fabrication of an Optical Spatial Filter and its Optical Characterization
羅, 雯文

空間濾波元件製作及光學檢測 = Fabrication of an Optical Spatial Filter and its Optical Characterization / 羅雯文撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2025[民114]. - viii,35葉 ; 圖 ; 30公分.
114年4月15日公開參考書目: 葉34-35.
空間濾波元件Spatial filtering

空間濾波元件製作及光學檢測 = Fabrication of an Optical Spatial Filter and its Optical Characterization
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300 $a 參考書目: 葉34-35
314 $a 指導教授: 施明昌教授
328 $a 碩士論文--國立高雄大學電機工程學系-半導體製造智能化技術產業碩士專班
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610 0 $a 空間濾波元件 $a 傅氏光學 $a 黃光微影製程
610 1 $a Spatial filtering $a Fourier optics $a Microlithography process
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