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FBAR在不同Sc比率的氮化鋁壓電材對FBAR特性研究 = Study ...

國立高雄大學應用物理學系碩士班

FBAR在不同Sc比率的氮化鋁壓電材對FBAR特性研究 = Study on the Characteristics of FBAR with Aluminum Nitride Piezoelectric Material at Different Scandium Doping Ratios

紀錄類型:	書目-語言資料,印刷品 : 單行本
並列題名:	Study on the Characteristics of FBAR with Aluminum Nitride Piezoelectric Material at Different Scandium Doping Ratios
作者:	高守甫,
其他團體作者:	國立高雄大學
出版地:	高雄市
出版者:	國立高雄大學;
出版年:	2025[民114]
面頁冊數:	v,30葉圖,表 : 30公分;
標題:	薄膜體聲波諧振器
標題:	Film Bulk Acoustic Resonator
電子資源:	https://handle.ncl.edu.tw/11296/x6rqb7
附註:	114年12月10日公開
附註:	參考書目: 葉27-30

FBAR在不同Sc比率的氮化鋁壓電材對FBAR特性研究 = Study on the Characteristics of FBAR with Aluminum Nitride Piezoelectric Material at Different Scandium Doping Ratios
高, 守甫

FBAR在不同Sc比率的氮化鋁壓電材對FBAR特性研究 = Study on the Characteristics of FBAR with Aluminum Nitride Piezoelectric Material at Different Scandium Doping Ratios / 高守甫撰 - 高雄市 : 國立高雄大學, 2025[民114]. - v,30葉 ; 圖,表 ; 30公分.
114年12月10日公開參考書目: 葉27-30.
薄膜體聲波諧振器Film Bulk Acoustic Resonator

FBAR在不同Sc比率的氮化鋁壓電材對FBAR特性研究 = Study on the Characteristics of FBAR with Aluminum Nitride Piezoelectric Material at Different Scandium Doping Ratios
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300 $a 參考書目: 葉27-30
314 $a 指導教授: 孫士傑博士
328 $a 碩士論文--國立高雄大學應用物理學系碩士班
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